漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂1. 安装案例

 

漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂1. 安装案例

某半导体芯片超纯水系统选用漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水专用离子交换树脂，安装遵循电子级超纯水树脂洁净装填规范。φ2.1m 交换柱底部铺设 25cm 高纯石英砂承托层，级配 2–6mm，全程在洁净环境下操作，杜绝杂质污染。树脂装填前用超纯水（18.2MΩ・cm）浸泡 6h，充分溶胀并去除细碎颗粒，采用湿法正压装填，边注超纯水边缓慢加入漂莱特PUROLITE UCW3700 超纯水树脂，装填高度控制 2.0m，避免树脂干态冲击破碎。装填后静置 30min，排出上层超纯水，启动小流量超纯水正洗，流速 7m/h，清洗至出水电导率＜0.1μS/cm、TOC＜50μg/L。安装后检查树脂层平整、无偏流，系统初始压差 0.09MPa，满足半导体超纯水连续制备需求。